1、扫描电镜和透射电镜的EDS对分析样品的成分有什么不同？
SEM TEM 都是主要用来分析形貌。他两相比较TEM的分辨率要高于SEM。TEM给出的是一个平面图，可以告诉你样品的形貌特这，尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌结构的，给出的是立体图，对观察棒状，球状，等等材料材料有很好的视觉效果。EDS是分析成分的，一般是配套于TEM仪器上。它分析的是样品表面面某个小的部分的元素组成，不能代表样品整体组成。
2、能谱扫描成分的深度是多少？
Q :用SEM中的EDS做元素面扫描，其反映的是多少深度的信息？RE:分析深度取决于样品本性和选用的参数，不同的加速电压，穿透深度不一样，电压越高，X射线激发深度越深 ,通常5KV一个单位入射深度2-3个mirc. 电压强度越高入射深度越强. 轻元素比较深，重元素相对较浅。具体书上有公式计算。和加速电压，元素的吸收系数等有关系。一般在几微米左右，重元素可能在几百纳米。
3、电子显微镜分析（TEM and SEM）是指?
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