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怎么用硅片测sem

发布时间:2020-12-01 18:39:11

1、如何实现全面的硅片检测

Hall效应测试系统、基于汞探针的CV测试仪、椭偏仪、扫描电子显微镜

2、聚合物想测SEM,如何制作样品?

既然是看膜,就需要楼主决定要看自然状态下的膜,还是制品的膜形貌了,制品自然要按照工艺制膜。如果能够拿到膜,可以直接用聚合物膜粘在我提到的导电胶带上,处理方式和之前回答你的一样,喷金、引导电胶。

3、纳米材料在测SEM时要怎么分散的更好些?

对于零维和一维纳米材料,SEM观察时需要分散。一般使用有机溶剂加分散剂,超声波分散,离心沉淀后用吸管取上清液,滴在干净的硅片或载玻片上,干燥后用导电胶带粘取。
具体沉淀时间或离心机的参数,需要多做几次试验,针对不同的材料特点,选择好的条件。

4、抛光硅片可以最SEM基底吗

很多纳米管、线等都是在类似的基体上生长,然后直接SEM观察。
换句话说,只有纳米材料才会考虑用抛光硅片做样品载台。微米亚微米级别的,浪费,直接双面导电胶带粘即可。

5、请问有做过硅片的吗?怎么弄断裂测断面SEM?

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6、硅片表面的粗糙度怎样测量

电容法,根据不同的sawmark可以将硅片分成A/B/C级片

7、为什么我的样品滴到硅片上测sem能谱还是能检测到碳

SEM扫描电镜扫描电镜制备品品溶解用溶溶剂进行散铺云母片或者硅片溶剂晾干或烘干再测

8、硅片都做那几个方面的检测??

检测硅片尺寸
检测单晶硅片的破损程度,并进行分级:
破损小于30mm,能够切成6英寸Wafer;
破为两片,无法使用;
没有破损;
硅片尺寸156*156mm;
检测速度要求:1.5秒/片;
动作流程:硅片运动到检测位置后,相机快速拍照,然后进行处理,在这个过程中设备不停;
硅片运动速度:约150mm/s;

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