1、SEM和電子探針使用特徵的問題
SEM說俗了 就是用高速的電子打擊標本 捕獲打回來的電子 然後電腦分析 得到的圖象就是物體表面的照片 和普通黑白照片沒區別 只不過是很小很小的物體 在納米級別上的迷你照片~
電子探針就不一樣了 全名為電子探針X射線顯微分析儀 又名微區X射線譜分析儀 聽著聽深奧 實際上就是把高速的電子打在物體上 這點和SEM一樣 但是它捕獲的不是電子 它要的是物體受到電子攻擊產生的X線``（如果你大學物理學的好沒掛科的話你應該記得一個叫做特徵X線 它要的就是這個玩意） 因為這個X線含有標本的化學成分信息``所以它長用來分析物體里有什麼 這樣我們就知道標本裡面有多少氫多少氧等等`
總結就是：都把高速的電子打到了標本上 SEM捕獲了反彈回來的電子 從而知道了物體表面長什麼樣子 電子探針捕獲了物體激發出來的X光 從而知道了物體裡面有什麼成分
2、sem和tem中的電子探針的分析精度相同嗎？如果不同，請說出為什麼
SEM說俗了 就是用高速的電子打擊標本 捕獲打回來的電子 然後電腦分析 得到的圖象就是物體表面的照片 和普通黑白照片沒區別 只不過是很小很小的物體 在納米級別上的迷你照片~ 電子探針就不一樣了 全名為電子探針X射線顯微分析儀
3、求助EPMA和EMPA區別
一.電子顯微探針分析
EMPA--Electron microprobe analysis
基本原理
電子顯微探針是指用聚焦很細的電子束照射要檢測的樣品表面，用X射線分光譜儀測量其產生的特徵X射線的波長和強度。由於電子束照射面積很小，因而相應的X射線特徵譜線將反映出該微小區域內的元素種類及其含量。 利用特徵X射線波長來確定元素的叫做波譜儀(WDS），利用特徵X射線能量不同來展譜的就稱為能譜儀(EDS）。
電子探針
利用電子顯微探針原理和技術來分析樣品的儀器。 儀器構造：主要由電子光學系統（鏡筒），X射線譜儀和信息記錄顯示系統組成。 1.電子光學系統 為了提高X射線的信號強度，電子探針必須採用較掃描電鏡更高的入射電子束流，常用的加速電壓為10-30 KV，束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分加裝光學顯微鏡，以選擇和確定分析點 。 2.X射線譜儀 電子束轟擊樣品表面將產生特徵X射線，不同的元素有不同的X射線特徵波長和能量。通過鑒別其特徵波長或特徵能量就可以確定所分析的元素。利用特徵波長來確定元素的儀器叫做波長色散譜儀（波譜儀WDS），利用特徵能量的就稱為能量色散譜儀（能譜儀EDS）。
電子探針的分析方法
1.點分析：用於測定樣品上某個指定點的化學成分。 2.線分析：用於測定某種元素沿給定直線分布的情況。 將WDS、EDS固定在所要測量的某元素特徵X射線信號（波長或能量）的位置上，把電子束沿著指定的方向做直線掃描，便可得到該元素沿直線特徵X射線強度的變化，從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。 3.面分析：用於測定某種元素的面分布情況。 將WDS、EDS固定在信號位置上，電子束在樣品表面做二維光柵掃描，便可得到該元素的面分布圖像。
如若滿意，請點擊右側【採納答案】，如若還有問題，請點擊【追問】
希望我的回答對您有所幫助，望採納！
4、電子探針X射線微區分析法
一、內容概述
電子探針（EPMA）是用極細的電子束對樣品表面進行照射產生特徵性X射線，對特徵性X射線進行分光和強度測定，得到微小區域的元素組成及樣品表面元素濃度分布的分析裝置。EPMA 採用波長色散型X 射線分光器（WDS），與能量色散型X 射線分光器（EDS）相比，具有高解析度的特點。因此，EPMA 與掃描型電子顯微鏡（SEM）配置EDS檢測器比較，可以進行更高精度和更高靈敏度的分析。電子探針應用更多和更有效益的是資源評價和綜合利用。
二、應用范圍及應用實例
（一）EPMA-1720/1720 H型電子探針
日本島津公司在19世紀60年代開發出世界首台電子探針「MOSRA」；2009年，推出最新型電子探針EPMA-1720/1720H，分析元素范圍4Be—92U，X射線分光器數2～5道，X射線取出角為52.5°，羅蘭圓半徑為4in（101.6mm），二次電子解析度分別為6nm（EPMA-1720）和5nm（EPMA-1720H）。
（二）CAMECA場發射電子探針SXFiveFE定量分析輝石礦物及其譜圖分析
基於WDS的CAMECA電子探針是唯一實現主量和痕量元素精確定量分析的儀器。場發射源的引入，優化了低電壓和高電流，在微區定量分析中，可實現最小的激活體積和盡可能高的空間解析度。優化的真空系統提供更優的檢出能力，對於輕元素有重要意義。可提供無與倫比的顯微定量和超高空間解析度的X射線成像能力。在10 kV、100 nA的實驗條件下，使用SXFive的LaB6陰極，可得到0.5μm的分析解析度，使在微小的區域內測量含量小於0.01%的痕量元素成為可能，並能得到良好的統計精度。
由於CAMECA波譜儀的獨特設計，15 s內即可掃描完整個譜儀，同時完成數據採集。SXFive可以配置一個能譜（EDS）用於快速礦產/相鑒別，或配置波譜儀（WDS）用於定量和成像模式。如果配置EDS/WDS可實現高通量產率，用EDS測得主量元素，用WDS測得痕量元素。
首先通過該儀器可以獲得斜方輝石內的單斜輝石出溶片晶的X熒光譜圖（圖1），該片晶只有幾百納米寬。隨後利用8kV、20nA的聚焦電子束定量分析了單斜輝石（Cpx）和斜方輝石（Opx）（表1）。
（三）CAMECA場發射電子探針分析石榴子石中的微量和痕量元素
實驗給出了300 nA條件下，石榴子石中一個鋯石包裹體中的U、Y、Hf的X熒光譜圖（圖2，圖3），顯示主要火成岩核心和變質增生。為了在極低濃度下准確獲得各元素的分布情況，峰值和背景強度已被映射，然後減去像素-像素。為了取得更好的精度，U的Mβ數為多台光譜儀同時測量的疊加數據。
圖1 單斜輝石出溶片晶的X熒光譜圖
表1 單斜輝石（Cpx）和斜方輝石（Opx）的定量分析結果
圖2 石榴子石中一個鋯石包裹體的背散射電子圖像（BSE）
（四）CAMECA場發射電子探針分析Fe-Ti氧化物
用該法獲得了交代橄欖岩捕虜岩中一個復合鐵鈦氧化物晶的高空間解析度X熒光譜圖（圖4），發現鈦鐵礦上面長滿了原始的含鈮金紅石，被鈦鐵礦部分取代，後期形成鐵氧化物邊緣。Fe和Ti剖面圖上沿著紅色覆蓋線的X熒光強度證明橫向解析度為300 nm（圖5）。
（五）獨居石中微量元素的成帶現象
用該法分析了獨居石晶體中Y和Th的分布情況（圖6）：Y為0.4% ～1%，Th 達0.7%。整個晶體的分析條件為CAMECA EPMA 2554＋/-8m.y.，較薄的垂向裂隙充填物的分析條件為1837＋/-5 m.y.。
圖3 鋯石包裹體中的U、Y、Hf的X熒光譜圖
圖4 復合鐵鈦氧化物晶的高空間解析度X 熒光譜圖
圖5 Fe和Ti剖面圖
（樣品由F.kalfoun，D.Lonov，C.Merlet提供）
圖6 獨居石晶體中Y和Th的分布情況
三、資料來源
www.cameca.com.The Fifth Generation Electron Probe—X⁃ray Spectrometr⁃ray Spectrometry Chemical Microanalysis Quantitative Mapping
5、電子探針儀與掃描電鏡有何異同
二者最主要的不同是其工作原理不同。
電子探針儀，學名應該是掃描隧道顯微鏡（scanning tunnel microscopy，STM）,它的工作原理是用一個針尖在離樣品表面極近的位置慢慢劃過，樣品和針尖上加有恆定電壓，隨著針尖和樣品起伏不平的表面原子距離的改變，二者間的電流會有變化，記錄這個電流的變化進行處理後，可以得到表面的形貌像，這是其中的一個工作方式，還有針尖位置不變，電壓變化的工作方式等。另外STM發展的非常蓬勃，衍生出很多其他類似的分支電鏡，如AFM等。
掃描電子顯微鏡（scanning electron microscopy,SEM),是通過電子束對樣品表面進行反復的掃射，通過探頭收集反射回來的二次電子和背散射電子來進行成像。
二者相同的地方則是主要用作測樣品表面形貌的儀器
6、電子探針儀與掃描電子顯微鏡有何異同
二者最主要的不同是其工作肌理不同。
電子探針儀，學名應該是掃描隧道顯微鏡（scanning tunnel microscopy，STM）,它的工作原理是用一個針尖在離樣品表面極近的位置慢慢劃過，樣品和針尖上加有恆定電壓，隨著針尖和樣品起伏不平的表面原子距離的改變，二者間的電流會有變化，記錄這個電流的變化進行處理後，可以得到表面的形貌像，這是其中的一個工作方式，還有針尖位置不變，電壓變化的工作方式等。另外STM發展的非常蓬勃，衍生出很多其他類似的分支電鏡，如AFM等。
掃描電子顯微鏡（scanning electron microscopy,SEM),是通過電子束對樣品表面進行反復的掃射，通過探頭收集反射回來的二次電子和背散射電子來進行成像。
二者相同的地方則是主要用作測樣品表面形貌的儀器
7、電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則
GB-T 17359—1998 (中文) 電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析
本標准規定了與電子探針和掃描電鏡聯用的X射線能譜儀的定量分析方法的技術要求和規范。本標准適用於電子探針和掃描電鏡X射線能譜儀對塊狀試樣的定量分析。
下載地址：
http://www.instrument.com.cn/show/download/shtml/027247.shtml
以上，希望對你有所幫助。
8、電子探針波薄片和普通薄片的區別
探針片，國內的標准約60-80um，當然是用於電子探針，電子探針分析時通過鍍金或者鍍炭達到導電的目的，然後分析；
光薄片，其實在國內指的是用於礦相鑒定的光片，即反光用的，有兩種，一種是很厚很厚的，可以壓在橡皮泥上放到反光顯微鏡下去看的；另一種厚度不定，因為主要是用於反光，不破損即可；
岩石薄片，就是用於顯微鏡鑒定的片子，通過30um，國內的情況是加蓋薄片，在這里蓋片有好處也有不好處，好處是有蓋片，顯微鏡鑒定的時候很好，很清楚，不好就是蓋上去了取不下來，至少不容易取下來，如果你要做電子探針或者SEM的話就沒辦法了，不蓋吧，顯微鏡鑒定的時候可能會有點干擾；