1、掃描電鏡和透射電鏡的EDS對分析樣品的成分有什麼不同？
SEM TEM 都是主要用來分析形貌。他兩相比較TEM的解析度要高於SEM。TEM給出的是一個平面圖，可以告訴你樣品的形貌特這，尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌結構的，給出的是立體圖，對觀察棒狀，球狀，等等材料材料有很好的視覺效果。EDS是分析成分的，一般是配套於TEM儀器上。它分析的是樣品表面面某個小的部分的元素組成，不能代表樣品整體組成。
2、能譜掃描成分的深度是多少？
Q :用SEM中的EDS做元素麵掃描，其反映的是多少深度的信息？RE:分析深度取決於樣品本性和選用的參數，不同的加速電壓，穿透深度不一樣，電壓越高，X射線激發深度越深 ,通常5KV一個單位入射深度2-3個mirc. 電壓強度越高入射深度越強. 輕元素比較深，重元素相對較淺。具體書上有公式計算。和加速電壓，元素的吸收系數等有關系。一般在幾微米左右，重元素可能在幾百納米。
3、電子顯微鏡分析（TEM and SEM）是指?
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