1、怎麼用SEM看薄膜截斷面
針對怎麼用SEM看薄膜截斷面來回答:
獻峰科技指出:在Si片上鍍一層非晶碳膜(厚度為幾十個nm,導電性能較差),用金剛石刀直接切割出試樣,然後進行SEM觀察,希望得到薄膜的厚度。
第一次去做時表面沒有噴金,看到的斷面效果也很差,很難清楚的看到薄膜與基體的分界面。
希 望 采 納 不 足 可 追 問
2、如何制備SEM樣品的橫斷面
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3、如何制備SEM樣品的橫斷面
你可以試試對樣品掰彎處理,因為氧化鋁模板是脆性的,所以在掰彎的時候肯定有地方裂開,裂開往上翹的角度大的在平面SEM中就可以側向看到斷面,我用過這個方法,還算是比較有效的方法