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sem荷電效應

發布時間:2020-11-14 10:17:27

1、什麼是荷電效應

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2、什麼是掃描電鏡的減速模式

對於掃描電鏡,較高的加速電壓可以獲得較好的解析度,但由於電子束穿透樣品較深,樣品極表面的細節可能無法顯現;低加速電壓可以獲得更淺表的細節,並且可以有效地減少對樣品的損傷和荷電效應,甚至對於不導電的樣品可以直接觀察,但是犧牲了一些解析度。二者互有優缺點。

減速模式在電子槍發射時使用較高的加速電壓,只是在樣品上附加一個反向的電場,使得電子束在即將到達樣品的時候減速,使實際到達樣品的電壓減小至兩千伏以下甚至幾百伏。即保持了高加速電壓的高解析度,又實現了低加速電壓有效地減少對樣品的損傷和荷電效應的能力。

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